解説 - 問題 11

(5) 周辺を固定したダイアフラムの片側に圧力を加えるとダイアフラムがたわむ。ダイアフラム式圧力計はこの現象を用いており、ダイアフラムに生じた変位又は歪み、あるいはダイアフラムが受けた力を検出して圧力を測定している。
ダイアフラム式圧力計と同じ測定原理を利用した【12】は、流量測定や液位測定・液体密度測定などに広く使用されており、機能はより豊富である。流量測定に使用するときは、差圧を流量に変換するための開平機能や気体流量測定用の温度・圧力補正機能を付加する。また、ダイアフラムの片側一方を真空にしてから封止し、絶対圧力を測定する製品もある。
【12】は、検出方式によって①力平衡式、②静電容量式、③【13】式、④振動式に分けられる。また、伝送出力によって電子式と【14】式に分けられるが、【14】式の製品は①の力平衡式のみである。③の【13】式は単結晶シリコンの薄いダイアフラム上に【13】を形成し、差圧に比例した出力を得ている。